Авторы: Савченко Е.Г., Стучебников В.М., Устинов А.А.
Рассмотрены метрологические характеристики тензопреобразователей давления на основе структур «Кремний-на-сапфире» (КНС), отличающихся материалами упругой мембраны и припоя, в области высоких температур, а также показаны особенности технологической стабилизации характеристик тензопреобразователей. Продемонстрированы возможности разработки преобразователей давления на основе структур КНС с точностью не хуже 0.2% при температурах до 350 °С.
Для обеспечения более удобного и частного просмотра этот веб-сайт использует