Подробно анализируются составляющие погрешности измерения давления датчиками на основе структур «Кремний на сапфире» (КНС). Определяемая ГОСТ величина «основная погрешность» включает погрешность установки начального и максимального выходного сигнала датчика и неприемлема для оценки погрешности тензопреобразователей (ТП) давления как основного метрологического элемента датчика. Проанализированы составляющие «точности» ТП – нелинейности, вариации и повторяемости, - причины их возникновения и способы снижения погрешностей конструктивно-технологическими методами. Важным источником погрешности измерения является температурная зависимость выходного сигнала, которую можно компенсировать  пассивным методом (с помощью температурно независимых резисторов) непосредственно в ТП. Реально точность ТП давления, выпускаемых Промышленной группой МИДА, составляет  0,05-0,1%, а суммарная погрешность, определяемая вариацией и повторяемостью, может быть сделана более 0,01%, что даёт возможность использовать такие ТП в калибраторах давления.

Авторы: А.И.Козлов, Д.Б.Мартынов, А.В.Пирогов, В.М.Стучебников – Труды X Международной научно-практической конференции «Энергоресурсосбережение. Диагностика – 2008», Димитровград (полный текст)