Подробный обзор методов измерения давления криогенных жидкостей и газов. При измерении с помощью импульсной трубки, выводящей давление в область нормальных температур («тёплый датчик»), в трубке возникают значительные колебания давления, что в ряде случаев вообще делает невозможным измерение и существенно увеличивает теплоприток к криогенной среде.  Другим  недостатком является демпфирование изменения давления в измеряемом объекте, не позволяющее измерять динамику давления криогенной среды. Поэтому наиболее точными являются «холодные датчики», устанавливаемые непосредственно на резервуаре или трубопроводе с криогенной средой.

Проведён анализ предлагаемых датчиков давления низкотемпературных и криогенных сред; показано, что в большинстве случаев они неприменимы для измерения при температурах менее 100К, а также обладают, как правило, значительной чувствительностью к магнитному полю исильной зависимостью метрологических характеристик от температуры. Описан тензорезисторный преобразователь давления на основе структур «Кремний на сапфире» (КНС), разработанный в НИИТеплоприборе.  В зависимости от выбранных параметров тензосхемы чувствительность тензорезисторного преобразователя может изменяться не более, чем на 0,2% в диапазоне температур 2-80 К или в пределах  3,5% в диапазоне 2-300 К. Нелинейность тензорезисторного преобразователя (+0,15%) и вариация (0,1%) практически не зависят от температуры. Выходной сигнал тензопреобразователя давления слабо зависит от магнитного поля. Такие преобразователи давления успешно использовались на стендах контроля блоков сверхпроводящей магнитной системы ТОКАМАК-15.

Авторы: Г.И.Лурье, В.М.Стучебников – Измерения, контроль, автоматизация. (полный текст)