0
Ваш список отложенного товара пуст
В списке отложенного товара 0 на сумму 0 руб. Перейти в список отложенного товара
0
Ваша корзина пуста
Товаров в корзине 0 на сумму 0 руб. Перейти в корзину Оформить заказ
В обзоре рассмотрены преимущества использования в тензорезисторных преобразователях (ТП) механических величин полупроводниковых чувствительных элементов (ПЧЭ) на основе гетероэпитаксиальных структур «Кремний на сапфире» (КНС) по сравнению с широко распространёнными ПЧЭ на основе кремния. Описаны электрофизические свойства структур КНС и особенности тензорезистивного эффекта в КНС р-типа проводимости, важные для применения в ТП механических величин. Проведён анализ особенностей узких тензорезисторов в структурах КНС, характеристики которых зависят от соотношения ширины и толщины тензорезисторов. Рассмотрено влияние облучения на свойства структур КНС. Дано описание конструкций ТП на основе структур КНС, их метрологических характеристик. Указаны перспективы развития ТП механических величин на основе КНС.
 
Автор: В.М.Стучебников – Радиотехника и электроника, 2005, т.50, №6, с.678-696. (полный текст)
informationДля обеспечения более удобного и частного просмотра этот веб-сайт использует файлы cookie. В некоторых случаях файлы cookie необходимы для обеспечения корректной работы сайта.
Доверяя нам свои персональные данные в контактных формах или при оформлении заказа, вы соглашаетесь на ее обработку и подтверждаете, что ознакомлены с Политикой конфиденциальности.
×